Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
by: Schwesinger, Norbert; Dehne, Carolin; Adler, Frederic
Publisher: De Gruyter ( 2009-01-01 )
ISBN-13: 9783486579291
e-ISBN-13: 9783486594119
ISBN-10: 3486579290
Language: German