Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Lehrbuch Mikrosystemtechnik:Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

by: Schwesinger, Norbert; Dehne, Carolin; Adler, Frederic

Publisher: De Gruyter ( 2009-01-01 )

ISBN-13: 9783486579291

e-ISBN-13: 9783486594119

ISBN-10: 3486579290

Language: German