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CMOS-MEMS

2022-06-18 分类：工程

CMOS-MEMS

by: Baltes, Henry; Brand, Oliver; Fedder , Gary K.; Hierold, Christofer; Korvink , Jan G.; Tabata, Osamu

Publisher: Wiley(2013/3/26)

Edition: 1

Language: English

e-ISBN-10: 352767506X

e-ISBN-13: 9783527675067

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